目前,世界上絕大部分廠家采用傳統(tǒng)的改良西門子法生產(chǎn)硅料,作為成熟的技術(shù)路線,其降本增效潛力已近極限。作為硅料的保利協(xié)鑫十余年如一日,不斷尋求技術(shù)突破以實現(xiàn)提質(zhì)增效,其的、具有自主知識產(chǎn)權(quán)的硅烷流化床法顆粒硅(FBR法顆粒硅)技術(shù)已趨成熟,在產(chǎn)品純度、能耗、產(chǎn)能等各項指標上,均大幅改良西門子法。
1956年研究成功氫還原三氯氫硅法。對硅中微量雜質(zhì)又經(jīng)過一段時間的探索后,氫還原三氯氫硅法成為一種主要的方法。到1960年,用這種方法進行工業(yè)生產(chǎn)已具規(guī)模。硅整流器與硅閘流管的問世促使硅材料的生產(chǎn)一躍而居半導(dǎo)體材料的。60年代硅外延生長單晶技術(shù)和硅平面工藝的出現(xiàn),不但使硅晶體管制造技術(shù)趨于成熟,而且促使集成電路迅速發(fā)展。80年代初全世界多晶硅產(chǎn)量已達2500噸。硅還是有前途的太陽電池材料之一。用多晶硅制造太陽電池的技術(shù)已經(jīng)成熟;無定形非晶硅膜的研究進展迅速;非晶硅太陽電池開始進入市場。
在研究和生產(chǎn)中,硅材料與硅器件相互促進。在第二次世界大戰(zhàn)中,開始用硅制作雷達的高頻晶體檢波器。所用的硅純度很低又非單晶體。1950年制出只硅晶體管,提高了人們制備硅單晶的興趣。1952年用直拉法(CZ)培育硅單晶成功。1953年又研究出無坩堝區(qū)域熔化法(FZ),既可進行物理提純又能拉制單晶。1955年開始采用鋅還原四氯化硅法生產(chǎn)純硅,但不能滿足制造晶體管的要求。