刀片主要由金剛石顆粒,結合劑等組成。結合劑用于固定刀片中的金剛石顆粒。因此,刀片的性能主要由金剛石顆粒尺寸,金剛石顆粒濃度,結合劑的種類決定。
我們一般根據(jù)結合劑類型將刀片分為硬刀和軟刀。軟刀通常使用樹脂作為結合劑,具有較好的柔韌性,一般用于切割硬脆材料,如石英、玻璃、陶瓷、硬質(zhì)合金,LT,LN,AlN等。而硬刀通常采用金屬結合劑或電鍍結合劑,這使得硬刀具有較高的剛性和耐磨性,適合切割較硬的材質(zhì),如硅片,PCB板等。
刀片切割是指利用金剛石刀片對晶圓進行切割的工藝,這是一種純粹的物理切割來分裂晶圓,一般厚度100um以上的晶圓適用于該劃片方式。金剛石刀片在高速旋轉(zhuǎn)時沿切割道移動,將晶圓完全切透,同時會使用水來冷卻刀片和晶圓,減少熱損傷以及帶走切割產(chǎn)生的碎屑。
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劃片刀又稱金剛石劃片刀,包含三個主要元素:金剛石顆粒的大小、密度和粘結材料。 金剛石顆粒在晶圓的切割過程中起著研磨劑的作用,通常是由CBN (Cubic Boron Nitride)合成而來。 金剛石顆粒尺寸從2um到8um之間變化。 為達到更好的切割質(zhì)量,通常選用帶棱角的金剛石顆粒。 金剛石顆粒的密度代表著金剛石顆粒占金剛石刀片的體積比。
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