一般的電熱真空無塵干燥箱都采用先加熱真空室壁面、再由壁面向工件進(jìn)行輻射加熱的方式。在這種方式下，控溫儀表的溫度傳感器可以布置在真空室外壁。傳感器可以同時(shí)接受對(duì)流、傳導(dǎo)、和輻射熱。而處于真空室里的玻璃棒溫度計(jì)只能接受輻射熱，更由于玻璃棒黑度不可能達(dá)到1，相當(dāng)一部分輻射熱被折射了，因此玻璃棒溫度計(jì)反映的溫度值就肯定低于儀表的溫度讀數(shù)。一般講，200℃工況時(shí)儀表的溫度讀數(shù)與玻璃棒溫度計(jì)的讀數(shù)兩者相差30℃以內(nèi)是正常的。如果控溫儀表的溫度傳感器布置在真空室內(nèi)，玻璃棒溫度計(jì)的溫度值與儀表的溫度讀數(shù)之間的差異可以適當(dāng)縮小，但不可能消除，而真空室的密封可靠性增加了一個(gè)可能不可靠環(huán)節(jié)。如果從操作實(shí)用角度考慮不希望看到這個(gè)差異，可以采用控溫儀表特有的顯示修正功能解決。

無塵潔凈烘箱的使用注意事項(xiàng)及操作規(guī)程
A.以電力為熱源(電加熱)，可長(zhǎng)期在250°C溫度下工作，提供了安全可靠的。
B.烘烤區(qū)的溫度是由微電腦PID控制或采用PLC控制，可對(duì)烘箱內(nèi)溫度實(shí)時(shí)多點(diǎn)顯示及自動(dòng)記錄。C出風(fēng)口裝有耐高溫空氣過濾器，每次運(yùn)風(fēng)循環(huán)均充分過濾(CLASS100 )，有效防止外界空氣對(duì)內(nèi)部的二次污染.D.裝有過濾器，電熱烘箱內(nèi)部循環(huán)熱風(fēng)經(jīng)高溫空氣過濾器反復(fù)過濾，了進(jìn)入無塵空間的熱風(fēng)達(dá)到100級(jí)潔凈之要求。
E雙層潔凈烘箱采用完全立的可編程加熱控制系統(tǒng)及運(yùn)風(fēng)系統(tǒng)，了各潔凈區(qū)之間的隔離，防止了由于誤操作而引起的不符合GMP要求的事故發(fā)生。
F.必要時(shí)潔凈烘箱還可加裝充氮接口(充入惰性氣體保護(hù))，防止被烘烤產(chǎn)品的氧化

無塵高溫箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

加熱1、加熱步驟在氣壓穩(wěn)定狀態(tài)下進(jìn)行，否則易導(dǎo)致內(nèi)外壓強(qiáng)及溫度差，造成外部大氣沖入箱內(nèi)等突發(fā)狀況；2、升溫過程中，加熱指示燈長(zhǎng)亮，達(dá)到設(shè)置溫度后，加熱自動(dòng)停止，同時(shí)指示燈熄滅。待溫度低于設(shè)置溫度時(shí)，加熱再次啟動(dòng)，加熱指示燈亮；3、加熱指示燈及溫度需正常顯示，若指示燈不亮需及時(shí)關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負(fù)責(zé)人。

溫度設(shè)置1、設(shè)置溫度不可超過額定溫度，真空下物料燃點(diǎn)、沸點(diǎn)驟降，設(shè)置溫度不合理會(huì)造成固態(tài)物料熔融結(jié)塊等現(xiàn)象；2、數(shù)顯溫度需正常指示，若不顯示或出現(xiàn)閃爍、跳躍等異常需及時(shí)關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負(fù)責(zé)人；3、操作人員需待實(shí)際溫度與設(shè)置溫度一致，加熱指示燈熄滅后，方可離開；4、為避免控溫失靈，需有專人定時(shí)查看儀器運(yùn)行是否正常，并留意烘烤物料變化情況，若發(fā)現(xiàn)異常需第D一時(shí)間關(guān)閉加熱、切斷電源、打開放氣閥門。

檢查無塵潔凈烤箱是否符合生產(chǎn)要求，檢查臺(tái)車烘箱各緊固件是否松動(dòng)，開機(jī)操作前檢查臺(tái)車烘箱是否有漏電現(xiàn)象，若漏電嚴(yán)禁操作使用，并及時(shí)查出原因。 加入待烘干物料，物料的厚度不得超過3cm，合上電源總開關(guān)，電源指示燈亮。 按下無塵潔凈烤箱啟動(dòng)按鈕，風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)，溫控器通電。初次使用應(yīng)檢查風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)向，右側(cè)風(fēng)機(jī)從電機(jī)端看進(jìn)去應(yīng)為逆時(shí)針轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)向不符應(yīng)改變電源相序。